엠아이티 '반도체 전자동 초음파 검사장비'

비침수형 검사방식 채택

◆ IR52 장영실상 ◆

왼쪽부터 엠아이티 신종훈 이사, 김주호 상무, 서광진 부장, 임성현 상무.

2024년 30주차 IR52 장영실상 수상 제품으로 엠아이티가 개발한 '반도체 내부결함 검사용 전자동 인라인 초음파 검사장비'가 선정됐다.

이 제품은 초음파로 반도체의 양품·불량 여부를 검수하는 검사장비다. 3D 낸드(NAND), 디램(DRAM), 고대역폭메모리(HBM) 등 반도체 공정에 광범위하게 적용할 수 있으며, 높은 생산성 및 검수율을 확보할 수 있어 국산 장비 최초로 반도체 양산에 적용됐다.

이 장비는 딥러닝 기술을 활용한 자동 판독 시스템이 적용돼 불량 판별률이 99% 이상으로 기존 인력에 의한 판독 방식보다 높다. 초음파 검사가 진행되는 스캐닝 속도 역시 1200㎜/sec로 타사 제품(1000㎜/sec)보다 빠르다.

원래 반도체 초음파 검사장비는 전량 수입에 의존할 정도로 해외 의존도가 높았다. 이에 엠아이티는 장비 국산화에 관심을 갖고 제품 개발을 시작했다. 핵심 인력을 충원해 2년여 동안 연구개발을 진행해 지난해 상용화에 성공했다.

엠아이티에 따르면 기존 반도체 초음파 검사장비는 웨이퍼(반도체의 재료가 되는 얇은 원판)가 완전히 물속에 잠긴 상태에서 검사가 이뤄진다. 이를 침수형 방식이라 하는데 이 과정에서 거품이 많이 발생하면서 검사 속도가 느려진다.

이에 엠아이티는 비침수형 검사 방식을 개발했다. 웨이퍼를 물 속에 넣지 않고 물위에서 초음파 신호를 아래로 쏘는 방식으로 검사가 이뤄진다. 이 방식은 기존 침수형 방식보다 거품 발생이 적어 빠른 검사가 가능하다.

엠아이티는 최근 한국거래소 지정 전문평가기관으로부터 A등급을 획득하며 소부장 특례상장을 위한 기술성 평가를 통과했다. 올해 10월엔 상장 예비심사를 신청해 내년 상반기 중 코스닥 상장을 목표로 하고 있다.

엠아이티 관계자는 "대만, 중국, 미국 등 글로벌 시장 진출을 본격적으로 시작하고 있다"며 "지난해 첫 매출은 약 40억원을 달성했으며, 올해는 200억원 달성을 목표로 하고 있다"고 밝혔다.